2005年8月Entegris和Mykrilis(以前的Millipore微电子部门)完成合并成为目前的Entegris， 是全球在半导体及其他高技术工业中为特殊材料提供完整的纯化、过滤、保护和输送方案及材料的领导者。

提供连续高流量的被纯化气体，去处气态污染物到PPT（万亿分之一）水平。

1. 纯化N2、H2、NH3、CDA气体到ppb级, 气态污染物可以处理到ppt级;
2.额定处理流量范围：（120SLPM – 20000SLPM）7.2M3/hr - 1200 M3/hr;
3.杂质颗粒的过滤效果: 0.003um;
4.自动在线再生, 连续纯化, 未纯化气体不会进入工艺点;
5.断电也可以继续纯化: 断电自动切换成仅通过备用在线纯化器纯化;
6.设备正常运转消耗少: 常温纯化,非再生时消耗电力50-100W; 再生时最大消耗电力1000W,消耗少量N2和H2气体;
7.操作简单直观: 彩色触摸屏操作;
8.安装简单: 挂壁或落地室内安装;
9.基本无维护需要;
10.符合CE、SEMI S2规范；